恒濕恒濕無塵車間案例解析
科瓦特長期服務(wù)于電子行業(yè)的潔凈室,無塵車間建設(shè)中,現(xiàn)對LED芯片的生產(chǎn)車間要不要
做恒溫恒濕無塵車間,具體工藝怎么樣?無塵車間的溫濕度,潔凈度等具體要求又是多少
進(jìn)行實際解析:
LED芯片的制造工藝流程
LED芯片的制造工藝流程: 外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→
平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光
刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。
具體要不要做無塵車間決取于你在以上LED芯片的上游還是下游,具體的生產(chǎn)工藝包括哪些?像
我們科瓦特給**LED芯片客戶無塵車間工藝?yán)锩嬗泻附踊蛘咤a膏或者有光刻曝光工藝的都會受溫濕
度影響的,因為溫度會影響錫膏的活性,對于里面所添加的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。
溫度高會增加其的活性,最終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現(xiàn)虛焊,焊點不光澤等現(xiàn)象。
濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少,如過吸如過多水氣,會使回流時產(chǎn)生氣空,飛漸,
連焊等現(xiàn)象。
科瓦特工程部在給客戶大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱
膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必
須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半
導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上
會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
根據(jù)我們中山科瓦特多年總結(jié)的經(jīng)驗得出
LED芯片(MOCVD,外延)
LED封裝封裝-應(yīng)用
前者LED芯片外延潔凈車間特點:
大排風(fēng)、特氣二次配
后者LED封裝封裝潔凈車間特點:
防靜電、加濕、調(diào)膠-隧道爐-烤箱排風(fēng)、
其中做LED應(yīng)用(LAMP)的普遍要求低
回望當(dāng)年我們給客戶****做LED裝封潔凈廠房,惠州,珠三角廣州,深圳每年一期潔凈室,每期潔凈室
最少兩層樓,每期潔凈室均會要求要恒溫恒濕空調(diào)。
慶幸LED行業(yè)又到蓬勃發(fā)展時期,中山科瓦特凈化工程有限公司將竭誠為新老客戶提供力所能及的服
務(wù):LED芯片-封裝-應(yīng)用潔凈室規(guī)劃、施工、節(jié)能改造。
LED屬于電子行業(yè)除了生產(chǎn)之外還需要對產(chǎn)品品質(zhì)進(jìn)行試驗,根據(jù)國家GB 2423.11-1982標(biāo)準(zhǔn),電工電
子產(chǎn)品基本環(huán)境試驗規(guī)程對其試驗環(huán)境是有嚴(yán)格要求的.
以下由于篇幅有限只列出國家有關(guān)電子行業(yè)最標(biāo)準(zhǔn)的測試環(huán)境:
通常包括:預(yù)處理(必要時);初始檢測(必要時);條件試驗;中間檢測;恢復(fù)(必要時);
最后檢測。
(1)基準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)大氣條件 指溫度為20°C,氣壓為101.3kPa(1013mbar)時的大氣條件。
(2)仲裁試驗的標(biāo)準(zhǔn)大氣條件 一種統(tǒng)一規(guī)定的測試用標(biāo)準(zhǔn)大氣條件。
(3)試驗的標(biāo)準(zhǔn)大氣條件 溫度:15--35 相對濕度:45--75% 氣壓:86--106kPa
(4)恢復(fù)條件
a.無特殊規(guī)定時為在試驗的標(biāo)準(zhǔn)大氣條件下恢復(fù)。
b.如對溫度條件的變化十分敏感,則應(yīng)在控制恢復(fù)條件下恢復(fù). 溫度:實驗室溫度±2°C,但不超過15--
35°C的范圍。 相對濕度為72%--78%,氣壓:86--106kPa
科瓦特主營產(chǎn)品或服務(wù):
1、潔凈車間、潔凈廠房、凈化車間、凈化廠房、無塵室、凈化工程、潔凈工程、潔凈手術(shù)室、層流手
術(shù)室、無塵廠房等潔凈室工程凈化設(shè)計、施工、調(diào)試、維護(hù)保養(yǎng)等;
2、100級到1000萬級別的潔凈手術(shù)室、無塵無菌室、動物實驗室,整體實驗室設(shè)備工程,食品車間凈化
工程,LED顯示屏無塵車間,化妝品無塵室等;
3、企業(yè)、醫(yī)院、酒店、工廠、商場、辦公大樓空調(diào)工程,水電、配管、電力、機(jī)電設(shè)備工程;
4、彩鋼板工程,各種防塵、抗靜電環(huán)氧樹脂地坪、防靜電PVC地板工程;
5、線路板、背光源、模組、印刷潔凈廠房恒溫恒濕工程;中央空調(diào)工程,冷庫熱水工程,凈化工程。
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