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          光學(xué)微電子潔凈廠房

          2016-05-27 00:58:38   作者:admin  出處:科瓦特

             方案簡(jiǎn)介:
               
              光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板

          制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)

          品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展

          上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于 地位。

                          

              
          光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排


          除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一

          需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。

           
          無塵車間/潔凈室的目的如下:
          功能一:過濾循環(huán)空氣建議無塵環(huán)境,
           
          功能二:調(diào)節(jié)空氣建立恒溫恒濕環(huán)境。
           
          功能三,建立正壓環(huán)境避免外氣污染

          光學(xué)微電子凈化工程一般包括:
          1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
           
          2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
           
          3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
           
          4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)
           
           
          光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

          氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒

          → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。
           
           
           
          光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)
          換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。

          壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
           
          平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。
           
          溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
           
          噪聲≤65dB(A);

          新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;

          照度300LX。
           
                                    凈化工程公司
           
          光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料
          1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、

          窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
           
          2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
           
          3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
           
          4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
           
           

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