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潔凈度100級 |
cleanliness class 100 |
大于等于0.5μm的塵粒數大于350粒／m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒／m3(3.5粒/L)； |
大于等于5μm的塵粒數為0 |
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潔凈度1000級 |
cleanliness class 1000 |
大于等于0.5μm的塵粒數大于3500粒／m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒／m3(35粒/L) |
大于等于5μm的塵粒數小于等于300粒／m3(0.3粒／L) |
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潔凈度10000級 |
cleanliness class 10000 |
大于等于0.5μm的塵粒數大于35000粒／m3(35粒/L)到小于等于350000粒／m3 (350粒／L) |
大于等于5μm 的塵粒數大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3 (3粒/L) |
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潔凈度100000級 |
cleanliness class 100000 |
大于等于0.5μm的塵粒數大于350000粒／m3(350粒/L)到小于等于3500000粒／m3 (3500粒／L)； |
大于等于5μm的塵粒數大于3000粒／m3(3粒／L)到小于等于30000粒／m3(30粒／L) |
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潔凈度300000級 |
cleanliness class 300000 |
大于等于0.5μm的塵粒數大于3500000粒／m3(3500粒／L)到小于等于10500000粒／m3 (10500粒/L) |
大于 等于5μm的塵粒數大于30000粒／m3(30粒／L)到小于等于90000粒／m3 (90粒/L) |
