電子潔凈室氣壓規(guī)定及控制篇
2016-06-01 03:06:30 作者:admin 出處:科瓦特
對(duì)于大部分電子行業(yè)潔凈空間,為了控制一定的潔凈度,需要防止外界污染侵入,所以要保持
內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。這樣外界的污染就不會(huì)侵入室內(nèi)。其中壓力差的維
持一般應(yīng)符合以下原則:
內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。這樣外界的污染就不會(huì)侵入室內(nèi)。其中壓力差的維
持一般應(yīng)符合以下原則:
1 潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理
意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
潔凈室中的氣流速度規(guī)定:
意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
潔凈室中的氣流速度規(guī)定:
這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說
明。對(duì)于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概
念,而不直接用速度的概念,不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;
明。對(duì)于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概
念,而不直接用速度的概念,不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;
(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。
(2)吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污
染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的
速度就是非常重要的指標(biāo)。過去都參考美國20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需
要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。
速度就是非常重要的指標(biāo)。過去都參考美國20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需
要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。
在我國,《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s
水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s
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