半導體潔凈車間注意事項
半導體組件空間單位都是以微米來計算的,所以微塵顆粒附著在制作半導體組件的晶圓上,很有可能影響到上面的精密導線布局的樣式,造成短路或斷路情況。因此所有半導體制程設備都必須放置在隔絕粉塵進入的密閉空間里,這就是半導體潔凈車間的來由。
下面給大家說說出入半導體潔凈車間需要注意的事項:
1.半導體潔凈車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進,因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境,這就需要用大型鼓風機將經(jīng)凈化設備的空氣源源輸入潔凈車間中。
2.為保持恒溫恒濕,大型空調(diào)設備須搭配前面的鼓風加壓系統(tǒng)使用。鼓風機加壓多久,空調(diào)就得開多久。
3.所有經(jīng)凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主,因此潔凈車間室內(nèi)空間設計或機臺擺放應避免突兀,使塵埃細菌等在潔凈車間內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至最低程度。
4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。
5.所有人或事物進出潔凈車間,人必須穿配套防塵服,人或事物都要經(jīng)過風淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。
6.半導體潔凈車間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一是防止水中粉粒污染晶圓,二是防止水中重金屬離子污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)的帶電載子信道,影響半導體組件的工作特性。去離子水是 的溶劑與清潔劑,在半導體工業(yè)的使用量非常驚人。
7.半導體潔凈車間用到的氣源,包括吹干晶圓和機臺空壓所需要的,都需要使用98%氮氣,吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
點擊排行榜
- 潔凈工程保證實際使用效果的三大要素
- 凈化車間裝修對于材料的要求
- 哪些行業(yè)離不開潔凈室
- 潔凈車間裝修注意事項
- 無塵車間裝修的三個階段
- 無塵車間的標準等級:越高越好嗎?
- 無塵車間生產(chǎn)廠家哪家好?如何選擇呢
- 潔凈室裝修時需要注意哪些問題
- 凈化車間的結(jié)構(gòu)材料有哪些
- 如何選擇無塵車間裝修公司
最新相關文章
- 怎樣對潔凈手術(shù)室進行綜合性能檢測
- 潔凈室設計與裝修之選址
- 無塵車間裝修設計哪家好
- 生產(chǎn)醫(yī)用口罩車間有什么要求?
- 潔凈車間裝修之前的準備工作
- 潔凈室的凈化方法有哪些
- 醫(yī)藥凈化工程與電子凈化工程的不同點
- 無塵車間該怎樣清潔呢?
- 為什么無塵車間需要配套一個風淋室
- 潔凈工程催生企業(yè)發(fā)展的必備手段
成功案例
立訊(常熟)千級凈化車間 |
中山全康醫(yī)療科技公司凈化車間 |
廣州海瑞藥業(yè)GMP凈化車間 |
長沙天儀研究院潔凈車間工程 |
長沙電子材料潔凈車間 |